中国经济周刊-经济网 （邹锡兰） 近日，佛山市南海区广工大研究院的孵化企业佛山轻子精密测控技术有限公司、广东阿达智能装备有限公司（下称：轻子精密、阿达智能）等传来捷报，经Espacenet专利数据库和佰腾专利数据库评估，由广东工业大学陈新教授领衔的“精密电子制造技术与装备国家重点实验室”微纳加工团队在宏微复合运动平台技术专利、Micro LED 巨量/批量转移技术、弯折微纳结构湿法刻蚀技术三项专利位居全球第一，而绝对式光栅尺技术专利位居全球前三，这些技术将对微电子封装、LED、3C电子等产业升级有极大的促进作用，对研究院各类合作企业的自主研发与高速发展提供重大支撑。
据了解，Espacenet收录了从1782年至今的发明和实用新型专利共计超过1.2亿件，包括中国、美国、欧洲、日本、韩国等120多个国家和地区；佰腾收录了中国、美国、欧洲专利局、世界知识产权组织、日本、韩国、英国、法国、德国等主流国家和地区的专利数据，在全球专利领域具有极高声望及认可度。
Espacenet专利数据库和佰腾专利数据库显示，广东工业大学陈新教授团队在宏微复合运动平台技术获得专利40项,远超美国波音公司的16项、通用电气的6项。该团队先后攻克了宏微运动平台的多项技术难题，掌握了微运动平台的结构设计、振动抑制和精密定位等核心技术，并联合大族电机、华道超精等公司成功的开发出集高速、高精度、高可靠性可以应用于微电子封装制造设备的高精密平台。该技术解决了高速大行程高加速与高精度间的矛盾，为先进微电子封装制造装备的产业升级提供有力支撑，有利于广东新一代的微电子制造装备的产业打造，对我国先进封装装备的自主研发与产业化发展具有重要意义。
微电子制造是关系国家安全与经济发展的重要行业，2020年为了支持国家半导体产业的发展国务院发布了《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》，要求我国在2025年芯片的自给率要达到70%，短短几年时间要从30%提升到70%是一个巨大的挑战这也充分地说明了国家对芯片产业的重视。广东工业大学陈新教授团队研发的宏微复合运动平台技术相关专利的应用，能够提高微电子封装制造整体水平，将为地方新一代的微电子制造装备的产业升级做出积极贡献。
此外，广东工业大学陈新/陈云/贺云波教授领衔的阿达智能精密团队在弯折微纳结构湿法刻蚀加工方面拥有15项核心专利，超越台积电、IBM等国际行列龙头；在Micro LED 巨量/批量转移技术获得专利28项，超过京东方、诺尔斯海德等行业巨头，解决了长期困扰LED行业的坏点问题。该团队攻克的Micro LED 巨量/批量转移技术的多项技术难题，成功的开发出集高一致性、高效率、高精度于一身的Micro LED 巨量/批量转移技术，突破LED转移速度与良率，提高了显示屏的可靠性，并可应用于Micro LED封装量产。Micro LED巨量转移技术是实现MicroLED显示屏产业化的关键技术，为对我国超清LED显示屏的自主研发与产业化发展具有重要意义。
应用在电子制造产业、3C产业等领域，被喻为精密制造设备的“眼睛”的绝对式光栅尺技术，具有抗干扰性强、断电后再工作无需回“零点”、无累计误差等优点被广泛的使用到各种精密的数控机床和测量设备中。广东工业大学陈新教授团队在绝对式光栅尺技术专利量达到54项，仅次于德国海德汉、英国雷尼绍，位居全球第三。团队先后攻克了绝对式光栅尺的多项技术难题，成功的开发出集高速、高精度、高可靠性于一身的可以量产的高精密产品，可应用于精密的数控机床和测量设备，并在广东万濠批量转化。打破了国外对我国精密光栅尺的长期垄断，对民族工业的发展以及国家的安全具有推动的作用。
作为集技术研发、成果转化、企业孵化、人才培养与引进于一体的开放式、网络化、集聚型的公共服务平台和新型研发机构，广工大研究院依托智汇+科技众包平台线上交易、线下聚资源打通技术成果转化，促成了包括广东工业大学、华南理工大学、哈尔滨工业大学等众多大学技术成果转化。其中仅广东工业大学一家技术成果转化便成立了轻子精密、阿达智能、缔乐视觉、汇博机器人、博文机器人等10多家实体企业进行运营，为当地产业转型升级做出积极贡献。而广东工业大学陈新、王晗教授领衔的轻子精密团队便是其中典型的代表，除了上述四项全球领先的专利能在未来进行产业化外，其研究的纳米材料领域早已进行了成功的产业化，在疫情爆发初期每日生产30万个抗菌杀菌口罩滤膜材料，为战役提供了重要的防疫物资。
