台积电预计极紫外光刻机累计采购量在明年将超过50台

9月28日消息,据国外媒体报道,在8月份的全球技术论坛期间,台积电曾透露全球目前在运行的极紫外光刻机中,他们约有一半,产能则是预计占全球的60%。而消息人士透露,台积电正在加快研发极紫外光刻机工艺,他们预计到明年年底,极紫外光刻机的累计采购量将达到约55台。(TechWeb)

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