光刻胶卡脖子？那就用冰！西湖大学突破三维微纳加工技术
浙江新闻客户端还记得儿时看过的冰雕展吗？美轮美奂的宫殿、动物、丛林，让人不得不赞叹匠人的鬼斧神工。如果，这样的冰雕是发生在仅有头发丝八分之一粗细的光纤末端，并且不止雕刻一件作品，而是同时雕刻百件以上呢？这样的风景，正发生在西湖大学云栖校区的纳米光子学与仪器技术实验室里。过去两个月，西湖大学仇旻研究团队，在Nano Letters、Nanoscale、Applied Surface Science等期刊上连续发表一系列研究成果，对小到微米甚至纳米级别的“冰雕”游刃有余。从精确定位到精准控制雕刻力度，再到以“冰雕”为模具制作结构、加工器件，一套“wafer in, device out.”（材料进
