休闲区 EUV光刻机迎末路？ASML都不看好了 近日，全球最大的光刻机设备供应商荷兰阿斯麦（ASML）的首席技术官Martin van den Brink表示，目前ASML正在有序地推行着此前制定的路线图，之后EUV技术将升级为High-NA EUV技术。准备在明年，向客户交付首台High-NA EUV光刻机。但对于High-NA技术之后的Hyp 0 36 0 Share
