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佳能押注“纳米压印”技术:降低先进工艺生产成本,加速追赶 ASML

IT之家 12 月 27 日消息,佳能今年 10 月宣布 FPA-1200NZ2C,这是一款纳米压印光刻(NIL)半导体设备。佳能社长御手洗富士夫近日表示,纳米压印光刻技术的问世,为小型半导体制造商生产先进芯片开辟了一条新的途径。佳能半导体设备业务经理岩本和德表示,纳米压印光刻是指将带有半导体电路图

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