
尼康拟于 2028 财年推出新款浸没式 ArF 光刻机,与 ASML 主导生态兼容
尼康目标是将在其浸没式 ArF 光刻系统的市场占比提升到与干式 ArF 领域相当的更高水平。
尼康目标是将在其浸没式 ArF 光刻系统的市场占比提升到与干式 ArF 领域相当的更高水平。
EXE:5200 是现有初代 High NA EUV 光刻机 EXE:5000 的改进款,根据 ASML 方法的说法“更适合大批量生产”。
美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)正在研发一种基于铥元素的拍瓦(petawatt)级激光技术,该技术有望取代当前极紫外光刻(EUV)工具中使用的二氧化碳激光器,并将光源效率提升约十倍。这一突破可能为新一代“超越 EUV”的光刻系统铺平道路,从而以更快的速度和更低的能耗制造芯片。
据荷兰媒体《NOS》报道,荷兰庇护和移民事务部对一名阿斯麦(ASML)前员工实施了为期 20 年的入境禁令。这名与俄罗斯有联系的个人目前正在接受调查,他被怀疑从阿斯麦窃取重要的微芯片文件并涉嫌从事间谍活动。当地媒体报道称,荷兰很少实施此类禁令,通常只在涉及国家安全的案件中才会这样做。
欧洲最大的科技公司、计算机芯片设备制造商 ASML 周四表示,预计未来五年销售额将增长 8% 至 14%,因为人工智能的蓬勃发展推动了对其最先进工具的强劲需求。
据台媒《经济日报》今天下午援引业界消息称,台积电首台ASML High NA EUV光刻系统设备本月将进机,这将使其“持续领先”三星晶圆代工的交机进度。